توضیحات
عنوان: ماشین کاری به روش IBM
- باریکه یونی متمرکز
- تاریخچه
- منابع باریکه یونی
- عملکرد باریکه یونی
- کاربردها
- تصویربرداری باریکه یونی متمرکز
- کاربرد فناوری بیم
- ماشین کاری به روش یونی
- نتایج تجربی اسپنسر و اشمیت
- استفاده از IBMبرای صیقلی كردن
- طرح نگاری یونی یا فرزكاری یونی
- برهمکنش ها
- مکانیزم پردازش ماده
- معایب
- عملکرد دستگاه پرتو یونی متمرکز میکروسکوپ های الکترو روبشی
باریکه یونی متمرکز
باریکه یونی متمرکز یا بیم به انگلیسی: (Focused Ion Beam also known as FIB )
روشی برای نمونهسنجی است که در آن از باریکه متمرکز یونها برای تصویرسازی یا لایهبرداری از نمونه استفاده میشود. این تکنیک در فناوری نیمهرسانا، مهندسی و علم مواد و ماشینکاری کاربرد دارد. از دیگر زمینههای کاربرد این فناوری زیستشناسی است که برای تجزیه و تحلیل، رسوبدهی و فرسودن بکار میرود
تاریخچه :
اولین سیستمهای باریکه یونی متمرکز بر پایه تکنولوژی میدان نشر و با استفاده از منابع یونیزاسیون میدان گاز )ختصاری( GFIS در سال 1975 توسط لوی-ستی و سوانسون گورلوف توسعه یافتند.
ساخت اولین دستگاه باریکه یونی متمرکز بر پایه منابع یونیزاسیون میدان گاز در سال 1978 توسط سلیگر انجام شد.
منابع باریکه یونی :
اغلب تجهیزات رایج، از منابع یون فلز مایع )اختصاری( LMIS مانند گالیم، ایریدیم و طلا مخصوصاً منابع یون گالیم استفاده میکنند. در یک منبع یون فلز مایع گالیم، فلز گالیم در تماس با یک سوزن تنگستنی قرار میگیرد و گالیم در اثر گرما ذوب شده و به سمت نوک سوزن تنگستنی جریان می یابد که در اثر نیروهای ناشی از تنش سطحی و میدان الکتریکی گالیم مذاب را به شکل مخروطی مانند که مخروط تیلور ) به انگلیسی : ( Taylor cone نامیده میشود، در میآورد. شعاع نوک این مخروط به شدت کم میباشد (حدود ۲ نانومتر). میدان الکتریکی بسیار قوی (بیش از یکصد میلیون ولت بر سانتی متر) در این نوک کوچک باعث یونیزاسیون و نشر اتمهای گالیم میشود. سپس یونهای منبع به سرعت تا ۱-۵۰ کیلو الکترون ولت افزایش انرژی پیدا میکنند و به وسیله لنزهای الکترواستاتیک روی نمونه متمرکز میشوند.
عملکرد : انجام تحقیق
سیستمهای باریکه یونی متمرکز روشی مشابه میکروسکوپهای پویشی الکترونی )اختصاری (SEM دارند، با این تفاوت ، همان طور که از نام باریکه یونی متمرکز بر میآید، در این سیستمها جریان یونی (معمولا گالیم) به جای جریان الکترونی به صورت دقیق متمرکز میشوند.
توجه:
برای دانلود فایل کامل ورد لطفا اقدام به خرید نمایید.
لینک دانلود فایل بلافاصله پس از خرید بصورت اتوماتیک برای شما ایمیل می گردد.
به منظور سفارش تحقیق مرتبط با رشته تخصصی خود بر روی کلید زیر کلیک نمایید.
سفارش تحقیق
نقد و بررسیها
هنوز بررسیای ثبت نشده است.